Одной из трудностей аналитического расчета является учет анизотропных свойств материалов. При помощи моделирования в программе Ansys появилась возможность учесть анизотропные свойства кремния (Si). Для этого был проведен эксперимент по определению значения модуля Юнга при различных направлениях среза.
В ходе работы была решена задача по расчету кантилеверов сложной формы, имеющих конфигурацию отличную от прямоугольной гофры. Было рассмотрено несколько вариантов и принято решение по использованию скруглений на гофрах для увеличения значения хода гребенчатой части при номинальном значении напряжения.
В результате работы была спроектирована конструкция гребенчатого актюатора, обеспечивающая ход ш-образной части на величину 180 мкм при напряжении срабатывания 100 В. Расхождение результатов моделирования величин хода и напряжения срабатывания с расчетными данными составило не более 15%.
Библиографическая ссылка
М.И. Бичурин, Г.А. Семенов, А.В. Конькин МОДЕЛИРОВАНИЕ АКТЮАТОРА ДЛЯ ОПТИЧЕСКОГО МИКРОРЕЛЕ ГРЕБЕНЧАТОГО ТИПА // Современные наукоемкие технологии. – 2010. – № 8. – С. 102-103;URL: https://top-technologies.ru/ru/article/view?id=25304 (дата обращения: 16.04.2024).