Cовременный этап развития высокотехнологических отраслей промышленности, прежде всего микро- и наноэлектроники, энергетики и других характеризуется устойчивой тенденцией, связанной с повышенными требованиями к параметрам процесса учета расхода газов и газообразных смесей для трубопроводных систем. Указанные проблемы особенно актуальны как для предприятий, обеспечивающих транспортировку газа, так и для газовых операторов, занимающихся распределением и реализацией газа. Необходимо подчеркнуть, что необходимость повышения точности измерений расхода газа во многом обусловлена и низкими метрологическими свойствами соответствующего оборудования, особенно отечественного, которое не обеспечивает с требуемой точностью возможность контроля и передачи единиц измерения расхода, не гарантируя стабильные основные нормируемые точностные характеристики, а также динамический диапазон измерения расхода газа в области микрорасходов. В ходе проведенного анализа были выделены основные требования, предъявляемые к устройствам измерения и дозирования малых и сверхмалых расходов газа и газообразных веществ, к которым можно отнести высокую прецизионность измерений; возможность измерения расхода в широком динамическом диапазоне; стойкость к агрессивным средам; надежность, низкие массогабаритные размеры. Сравнительный анализ технических характеристик, достоинств и недостатков различных методов позволил установить, что наиболее эффективным будет являться устройство, основанное на меточном методе измерения с использованием тепловых и жидкостных меток.

Nowadays the high-tech industries (specifically micro- and nanoelectronics, as well as energetic) stage of development is characterized by a steady trend of increasing the requirements for pipeline systems gases and gaseous mixtures flow register and control parameters. These tasks are especially topical for the facilities, providing gas transportation, as well as gas distributing and selling companies. It is essential that the necessity of the gas flow measurement accuracy improvement is largely conditioned by poor metrological properties of the equipment (especially of domestic production), that does not provide the required accuracy of controlling and transferring the flow measurement and does not guarantee the stability of the critical accuracy characteristics as well as the dynamic range of gas flow micro expenses measurement.In the course of the analysis the main requirements for small and ultra-small gas and gaseous substances expenses measurement devices were specified. These include high precision level of measurements; possibility of flow measurement in a wide dynamic range; resistance to aggressive environments; reliability and low weight and size. It was found by using a comparative analysis of the technical characteristics, advantages and disadvantages of different methods, that a device using a labeling measuring method based on thermal and liquid labels, will be the most efficient one.