При производстве современных устройств электроники и наноэлектроники одним из технологических процессов является выращивание функциональных слоев. При этом основные методы выращивания функциональных нанослоев основаны на высаживании атомов выращиваемого слоя из внешнего источника на подложку, например испарение в вакууме, ионное распыление или электрохимическое осаждение. Но в противовес классическим технологиям функциональные нанослои можно выращивать за счет процесса термостимулированной сегрегации. При этом в качестве источника вещества пленки используется малая добавка в объеме образца. В статье приведены основные алгоритмы разработанной программы для автоматизации расчета состава функциональных нанослоёв, полученных методом термостимулированной сегрегации. Программа рассчитывает состав пленки по данным о составе подложки и параметрах ее компонентов в модели разорванных связей. На основе полученных данных рассчитывается поверхностное натяжение функционального нанослоя. Стоит отметить, что в программе реализованы возможности использования базы данных с табличными значениями параметров компонентов образца и его кристаллографической грани, сохранения и загрузки результатов расчета, построения графиков зависимостей состава от температуры и его сохранение в файл с изображением. Полученные данные могут использоваться в производстве нанослоев с заданными составом и свойствами, что в перспективе позволит удешевить производство приборов и устройств микро- и наноэлектроники.

In the production of modern electronic and nanoelectronic devices, one of the technological processes is the growth of functional layers. The main methods for growing functional nanolayers are based on planting the atoms of the grown layer from an external source onto a substrate. For example, evaporation in vacuum, ion sputtering or electrochemical deposition. But, in contrast to classical technologies, functional nanolayers can be grown by the process of thermostimulated segregation. In this case, a small additive in the bulk of the sample is used as the source of the film substance. The main algorithms of the developed program for automating the calculation of the composition of functional nanolayers obtained by the thermostimulated segregation method are presented in the article. The program calculates the composition of the film from data of the substrate composition and the parameters of its components in the broken bonds model. The surface tension of the functional nanolayer is calculated based on the data obtained. It should be noted that the program implemented the possibility of using a database with tabular values of the parameters of the components and its crystallographic face, saving and loading the calculation results, plotting curves of composition from temperature, and saving it to an image file. The obtained data can be used in the production of nanolayers with the specified composition and properties, which in the future will make it possible to reduce the cost of production of micro- and nanoelectronics devices.