Журнал Современные наукоемкие технологии 1812-7320 Общество с ограниченной ответственностью "Издательский Дом "Академия Естествознания" ART-34104 ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНИЧЕСКОГО РЕШЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СКАНЕРА Ветров В.А. Vetrov V.A. eivashov@hse.ru Ивашов Е.Н. Ivashov E.N. eivashov@hse.ru Князева М.П. Knyazeva M.P. eivashov@hse.ru Федотов К.Д. Fedotov K.D. eivashov@hse.ru ФГАОУ ВПО «Московский институт электроники и математики Национального исследовательского университета «Высшая школа экономики»» FGAEU HPE «Moscow institute of electronics and mathematics The National research university “High school of economics”» 01 03 2014 3 14 21 This is an open-access article distributed under the terms of the CC BY 4.0 license. https://top-technologies.ru/article/view?id=34104

Рассмотрена итерационная процедура комплексного метода, в которой производится поиск минимума перемещением по направлению к минимуму внутри области ограничений. При разработке биморфных элементов пьезосканера в нанотехнологии необходим учет их поперечных и продольных колебаний, оказывающих существенное влияние на точность позиционирования острия кантилевера относительно подложки для наиболее точного нанесения квантовых точек на подложку. Различные конструкции кантилевера привносят в устройство свои особенности. Пьезосканер должен работать в режиме антирезонанса, то есть все резонансные частоты должны быть исключены. Это достигается как геометрией пьезосканера, так и материалом.

Iterative procedure is a complex method, in which minimum is searched by movement to minimum area within limits is considered. Account of longitudinal and transverse oscillation, which has a significant impact on positioning accuracy of the tip’s cantilever relative to the substrate for the most accurate application of quantum dots on a substrate, is required in develoring of the bimorph piezo elements in nanotechnology. Piezoscanner should work in mode of antiresonance, i.e. all resonant frequencies should be excluded. This is achieved as the piezo geometry as material.

 итерационный метод; комплексный метод; минимизация функции. iterative method; complex method; function’s minimization.

1. Вейник А.И. Техническая термодинамика и основы теплопередачи. – М.: Металлургия, 1965. – 375 с.

2. Бабаков А.И. Теория колебаний. – М.: Наука, 1965. – 559 с., ил. – C. 233-235, 254-257.

3. Ивашов Е.Н., Князева М.П., Степанчиков С.В. Устройство возбуждения кантилевера. – Пат. РФ на ПМ №125348. – Опубл. 27.02.2013. – Бюл. №6.

4. Ивашов Е.Н., Князева М.П., Гамилова Т.П. Модель формирования нанорисунка на подложке с учетом двух внутренних степеней свободы: материалы МНТК «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного машиностроения». 4-7 декабря 2012 г. INTERMATIC-2012. Часть 3. – М.: МИРЭА, 2012. – С. 101-103.

5. Ивашов Е.Н., Князева М.П., Степанчиков С.В. Пьезоэлектрические сканирующие элемент зондовых микроскопов и нанотехнологического оборудования: материалы МНТК «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного машиностроения». 4-7 декабря 2012 г. INTERMATIC-2012. Часть 4. – М.: МИРЭА, 2012. – С. 78-82.

6. Банди Б. Методы оптимизации. Вводный курс / пер. с анг. – М.: Радио и связь, 1988. – 128 с., ил.

7. Ивашов Е.Н., Павлов А.Ю. Исследование пьезосканеров в СЗМ. – РИО МИЭМ. – 2005. – 32 с., ил.