Предложен метод параллельного кластерного моделирования процессов переноса атомов поверхностного слоя в объем твердого тела, позволяющий избежать решения уравнения переноса, описывающего прохождение налетающих частиц в материалах с неоднородным по глубине составом.

The method of parallel cluster modeling processes of surface layer atoms carrying into solid is offered. It allows to avoid the decision of the carrying equation, describing passage of flying particles in materials with non-uniform on depth structure.